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制造图像传感器的方法技术
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文档序号:3187657
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本发明涉及制造图像传感器的方法,其中本发明可以增强USG层和SiN层之间的粘合强度。根据本发明的制造图像传感器的方法包括下列步骤:在衬底的电路区域上形成金属垫并使该金属垫图案化;在衬底上形成未掺杂硅玻璃(USG)膜以覆盖金属垫;在USG膜的...
该专利属于东部电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东部电子株式会社授权不得商用。
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