下载“N”形电连接晶圆级芯片尺寸封装结构及其制造方法的技术资料

文档序号:3187403

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本发明提供一种“N”形封装结构及制造方法,在第一玻璃上形成空腔壁;具有空腔壁的玻璃覆盖硅芯片,硅芯片外围密布排列兼容焊盘,光学/图像部件被容纳入空腔;芯片被选择性地蚀刻,构成沟道使兼容焊盘的部分暴露;绝缘材料填充沟道,覆盖已暴露的硅坡道和兼...
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