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将电路讯号引出的方法技术
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文档序号:3185318
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本发明有关于一种将电路讯号引出的方法,其主要是于基材(例如:集成电路)上选择欲引出讯号的数个目标电极,运用聚焦离子束(Focused ionbeam;FIB)或激光将目标电极上各种半导体制程使用的材料[如:导电层、半导体层、绝缘层等]去除...
该专利属于宜特科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宜特科技股份有限公司授权不得商用。
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