下载GaN基光电子器件及其制法的技术资料

文档序号:3184960

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一种GaN基光电子器件,用MOVPE技术在衬底上生长外延层,外延层包括按序生长的缓冲层,N-型Al↓[a]In↓[b]Ga↓[c]N层,量子阱组成有源层,P-型AlGaN限制层,P-型GaN层。其缓冲层为复合型缓冲层,包括In↓[x]Ga↓...
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