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一种形貌可控的纳米结构阵列制备方法技术
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文档序号:31833839
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本发明公开了一种形貌可控的纳米结构阵列制备方法,包括以下步骤:(1)采用自组装法制备得到六方密排的单层聚苯乙烯微球阵列;(2)利用磁控溅射技术在单层聚苯乙烯微球阵列表面溅射金属膜,得到金属纳米球周期阵列;(3)利用离子束刻蚀技术对所得到的金...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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