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一种晶片保持机构，其特征在于，具有：保持晶片外周缘的至少３个保持部件；具有沿放射方向引导该至少３个保持部件的引导部、可以沿该引导部移动地支持上述保持部件的支持板；以及使该至少３个保持部件沿该引导部移动的移动机构。...
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