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本发明提供一种等离子体处理装置中的加热装置及抗射频干扰方法，将用于抗射频干扰的电感性元件或电容性元件，接入到加热装置的加热丝区域，使加热丝所在的供电回路对射频信号等效为开路或短路，减少耦合降低干扰，避免损坏加热丝的电源控制部分。坏加热丝的电...
该专利属于中微半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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