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形成抗反射膜的组合物，其具有优异的适用性，在产生超细微泡方面受到了显著抑制，产生能够足够地减少驻波效应的抗反射薄膜并且具有优异的在水和碱性显影液中的溶解性。所述形成抗反射膜的组合物包含：（Ａ）由例如２－（甲基）丙烯酰氨基－２－甲基丙烷磺酸代...
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