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半导体器件制造方法及半导体器件技术
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文档序号:3180824
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具有衬底和硅半导体本体(2)的半导体器件(10),包括场效应管,在沟道区(5)位置处的第一表面上形成第一栅极电介质(6A),并且在第一表面上形成第一栅极(7),从本体(2)的第一侧面通过第一栅极并且在第一栅极两侧上执行凹陷离子注入(20),...
该专利属于NXP股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司授权不得商用。
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