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本发明提供的光刻照明系统，涉及用于半导体光刻机的照明系统。所述的光刻照明系统依次包括：光源，用于产生照明光束；光瞳整形模块，接收光源产生的照明光束，并形成有特定截面形状的照明光束；微透镜阵列模块，接收来自光瞳整形模块的照明光束，并形成具有一...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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