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本发明涉及一种能够在晶片等被检查试样的制造装置和检查装置中，在短时间内容易地实现形成于被检查试样上的各种图形的对位的图形检查装置。本发明的图形检查装置（１）包括试样定位单元（９）和偏差量计测单元，试样定位单元（９）在形成为板状的被检查试样（...
该专利属于奥林巴斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥林巴斯株式会社授权不得商用。

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