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本发明涉及基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置，可将基板搬入搬出到基板箱的任意架上。在搬出在构成基板箱（１Ｃ）的箱主体（１）上被收纳于将以赋予张力的状态安装的多个金属丝（４）作为架板形成的各架（１Ｒ）上的基板（１Ｇ）时，使构成一对基板升降...
该专利属于神钢电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过神钢电机株式会社授权不得商用。

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