温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种栅极制作方法。利用含氮的气体快速加热工艺（ｎｉｔｒｏｇｅｎ－ｃｏｎｔａｉｎｉｎｇ　　ＲＴＰ，ａｍｍｏｎｉａ　　ｒａｐｉｄ　　ｔｈｅｒｍａｌ　　ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ）处理底材，在底材上形成一界面扩散阻障层（ｉｎｔｅｒｆａｃｅ　　...
该专利属于联华电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过联华电子股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。