下载薄片粘贴装置及粘贴方法的技术资料

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一种薄片粘贴装置(10)包括:导引粘接片(S)到面对半导体晶片(W)的位置的薄片导引单元(12);和给上述粘接片(S)施加按压力,以把该粘接片(S)粘贴到晶片W上的压辊(14)。上述薄片导引单元(12),包含测定导引头(49)和压辊(14)...
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