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薄片粘贴装置及粘贴方法制造方法及图纸
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文档序号:3174859
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一种薄片粘贴装置(10)包括:导引粘接片(S)到面对半导体晶片(W)的位置的薄片导引单元(12);和给上述粘接片(S)施加按压力,以把该粘接片(S)粘贴到晶片W上的压辊(14)。上述薄片导引单元(12),包含测定导引头(49)和压辊(14)...
该专利属于琳得科株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过琳得科株式会社授权不得商用。
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