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本实用新型提供一种晶圆偏转装置，包括：设备支撑板，所述设备支撑板两端设有支撑板安装板，所述支撑板安装板焊接固定在设备支撑板上，所述设备支撑板上设有若干位置调节装置，所述位置调节装置一端通过固定螺栓安装在设备支撑板上、另一端设有晶圆夹持爪，所...
该专利属于天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天健九方（西安）毫米波设计研究院有限公司授权不得商用。

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