下载一种有机电致发光器件的新型掩膜体系及制作方法的技术资料

文档序号:3174506

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本发明公开了一种有机电致发光器件的掩膜体系,其特征在于,包括活动部分和固定部分,所述固定部分为单片小掩膜板,固定设置在基片托架上方和器件衬底下方,它与器件衬底在有机工作层的制备过程中始终固定在基片托架上,掩膜图案与金属电极的待蒸镀区域图形一...
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