下载保持在卡盘工作台上的被加工物的测量装置及激光加工机的技术资料

文档序号:3174153

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本发明提供一种保持在卡盘工作台上的被加工物的测量装置及激光加工机。测量装置能可靠地测量被加工物的高度,并具有:白色光源;对白色光进行会聚的色差透镜;分束器,配设在白色光源和色差透镜之间,对照射到被加工物上的白色光的反射光进行分光;第一聚光透...
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