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本发明涉及一种用于检测优选为硅圆片（３）的电试样（２）的电检测设备（１），它包括一个电连接装置（７），所述连接装置具有接触面（１２），这些接触面用于实现可与试样（２）接通的触点配置（５）的触点接通，并且一个支承装置（８）与所述连接装置对应。...
该专利属于精炼金属股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过精炼金属股份有限公司授权不得商用。

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