下载带有多晶硅场板的功率MOS场效应管及其制造方法的技术资料

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一种带有多晶硅场板的功率MOS场效应管及其制造方法,其特征在于对MOS场效应管有源区外围的终端保护结构进行了以下几方面改进:1.将单胞阵列的边缘单胞外围的P↑[-]阱直接作为场限环;2.将场限环P↑[-]区、截止环P↑[-]区和单胞阵列的P...
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