下载光电子器件的技术资料

文档序号:31719694

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一种光电子器件。所述光电子器件包括:绝缘体上硅平台,其包括:位于所述平台的硅器件层内的硅波导、衬底以及位于所述衬底与所述硅器件层之间的绝缘体层;以及基于III
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该专利属于洛克利光子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过洛克利光子有限公司授权不得商用。

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