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LCOS芯片像素器件结构及其制备方法技术
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文档序号:3171619
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LCOS芯片像素器件结构,在一块P型硅衬底上分别按照行与列平行排布若干个像素单元,每行或每列的像素单元包括一由p+-i-P电容器的上极板、薄膜绝缘层、p+-i-P电容器的下极板共同构成的p↑[+]-i-P电容器和一NMOS管,所述NMOS管...
该专利属于天津力伟创科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津力伟创科技有限公司授权不得商用。
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