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本发明公开了一种化学气相沉积设备，包括沉积室，所述沉积室开有至少一个排气口和至少一个进气口，其中，所述排气口的表面与沉积室的内壁表面圆滑相连。本发明还公开了一种炉管，该炉管的排气口的表面与炉管的内壁表面圆滑相连。本发明的化学气相沉积设备及炉...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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