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本文描述被涂覆腔室部件的翻新。在一个实施例中，翻新处理腔室的部件，所述部件包括具有表面涂覆层的结构，该表面涂覆层包含第一层。去除所述第一层以在所述结构上形成暴露表面。在去除所述第一层期间或之后，用清洗液清洗所述暴露表面，而由此在该暴露表面上...
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