下载一种GaN垂直型肖特基二极管及制作方法的技术资料

文档序号:31696197

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本发明提供了一种GaN垂直型肖特基二极管及制作方法,属于半导体技术领域,二极管包括衬底、GaN缓冲层、阳极金属层、沉积金属层和阴极金属层,制作方法包括在衬底上形成GaN缓冲层,在GaN缓冲层上表面依次形成有N+GaN外延层和N
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该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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