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本发明公开了一种在面阵测量方式中的多平面拼接数据处理方法，包括：获取晶圆在不同位置下量测的量测数据；通过对各个位置的量测数据进行分离获取晶圆数据和背景数据；通过对各个位置的晶圆数据进行质心算法运算获取在各自坐标系下的晶圆质心坐标；以任一位置...
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