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一种具多阶输出功能的缺陷检测系统及方法，利用多阶信号检测技术以检测一集成电路的缺陷，缺陷检测系统使用一模／数转换器将一模拟读出信号转换为一具有多个位的输出码。缺陷检测方法包含一开路检测方法及一短路检测方法，开路及短路检测方法均包含一校正方法...
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