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本实用新型提供了一种硅片烘干装置，涉及硅片加工设备领域，包括传送机构以及烘干箱，传送机构包括传送板，传送带，第一气缸以及固定架，第一滑轨的端部设有第一气缸，固定架上设有调节机构，烘干箱的内部设有吸附机构以及热风机，吸附机构包括吸附箱，连接板...
该专利属于天津西美科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津西美科技有限公司授权不得商用。

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