下载一种改善导通电阻特性的高压场效应管结构及制造方法的技术资料

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本发明提供一种改善导通电阻特性的高压场效应管结构及制造方法,通过把漂移区场氧下的P型掺杂区和P阱连接,保证在切换到开态时有足够的空穴补充耗尽状态的P型掺杂区,提高P型掺杂区的耗尽恢复速度,解决开态时耗尽恢复不完全造成导通电阻变大的问题。通过...
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