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悬臂１０由三个区域并与作为边界的弯曲部５１和５２一起构成位于自由边缘的支撑部１０ｂ，横梁部１０ａ，以及位于固定边缘的支撑部１０ｃ，探针１设置在自由边缘的支撑部１０ｂ上，支撑部１０ｃ则固定于显微镜主体。在自由边缘的支撑部１０ｂ和横梁部１０ａ弯...
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