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本发明提供一种等离子体处理设备与系统，及用以输送射频功率至等离子体处理室的方法。等离子体处理系统包括一个射频产生器、一个等离子体室、一个匹配网络盒、第一电缆、第二电缆，及用以电隔离匹配网络盒的装置。射频产生器产生射频功率以传送至等离子体室。...
该专利属于拉姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉姆研究公司授权不得商用。

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