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本发明公开了一种电磁驱动式MEMS微泵及集成加工工艺，包括微泵本体、流体通道，流体通道内具有永磁体、MEMS线圈、软磁铁芯，软磁铁芯与永磁体组成双环形磁路；流体通道连通有进口和出口；进口具有与流体通道连通的进口附属通道，出口具有与流体通道连...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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