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本发明属于等离子体诊断设备技术领域，提供了一种高气压等离子体的活性物种诊断仪的设计方法。其特征是将分子束采样技术与质谱技术相结合，采用三极分子泵差分抽气，同时采用两级液氮吸附泵进一步提高本底真空度，以减少活性物种的损耗，另外采用斩束技术，结...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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