温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及显示技术领域，公开了一种显影装置和光刻系统，该光刻系统包括该显影装置，该显影装置在槽体中设置多个支撑组件，各支撑组件包括竖直设置的支撑轴和与支撑轴连接的支撑件，支撑组件的驱动端与控制单元的独立的驱动信号输出端连接，可独立控制各...
该专利属于昆山龙腾光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山龙腾光电股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。