下载一种点状支撑的PVD子载板的技术资料

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本实用新型提供了一种点状支撑的PVD子载板,其包含PVD子载板框、一圈宽度尺寸较窄的周长全支撑圈和8个凸点支撑。所述宽度尺寸较窄的周长全支撑圈和8个凸点支撑设置在PVD子载板框的内边框上;所述8个凸点支撑分散分布在宽度尺寸较窄的周长全支撑圈...
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