下载加热装置及其适用的蒸镀设备的技术资料

文档序号:31500496

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本发明提供了一种加热装置及其适用的蒸镀设备。加热装置包括坩埚、导热元件以及加热元件。坩埚包括底面、开口与该底面相对以及容置空间用以容纳待蒸镀材料。导热元件设置在坩埚的容置空间内,且导热元件设置在底面上并朝向开口延伸,而加热元件邻近坩埚设置。...
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