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本实用新型公开了一种显微镜的锁焦探测系统，该方法包括，锁焦探测模组探测物镜和样品之间距离的变化量，并将距离的变化量发送至锁焦控制器，锁焦控制器输出移动距离至Z轴位移器，Z轴位移器移动距离带动物镜1进行移动，将物镜和样品的间距保持在预设的焦距...
该专利属于广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院授权不得商用。

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