下载低阈值电压静电型微继电器的技术资料

文档序号:3143928

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本实用新型涉及低阈值电压静电型微继电器。它包括可动梳齿和固定梳齿、折叠弹簧梁、多级梳齿连接梁,对应的可动梳齿上的叉齿与固定梳齿的叉齿之间形成平板电容,当施以电激励时,可动梳齿带动多级梳齿连接梁发生横向位移,使触点与电路中固定电极接触,在电激...
该专利属于合肥工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过合肥工业大学授权不得商用。

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