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本实用新型公开了一种光学检测系统和检测设备，检测设备包括光学检测系统，光学检测系统包括探测器和光源，所述光源用于向待检测表面提供暗场探测光，所述探测器用于采集所述暗场探测光在所述待检测表面的散射光；在所述探测器的镜头的光轴与扫描方向构建的第...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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