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本发明公开了一种暗场成像检测系统，暗场成像检测系统包括真空腔室、光源、光学组件和图像采集装置，真空腔室内设有检测位，检测位用于放置极紫外掩模，光源设于真空腔室内且用于向极紫外掩模发射极紫外光束，光学组件设于真空腔内，光学组件用于接收经极紫外...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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