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本发明公开了一种用于双腔准分子激光器的能量控制方法及装置。该方法包括：检测双腔准分子激光器的出光口的能量，查找到电压最大值；检测主振荡放电腔和功率放大放电腔之间的延时，得到测得延时信号；根据电压最大值和测得延时信号，计算并输出电压和延时信号...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

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