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射频微电子机械单刀双掷膜开关及其制造方法技术
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文档序号:3127352
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射频微电子机械单刀双掷膜开关及其制造方法属于微电子机械系统领域。每个单刀双掷膜开关中有一个由微带线构成的微波T形头,其包括一条用作高频信号输入端的信号线和两条与之相连构成对称T形结构的分支信号线,每条分支信号线上各连接有一个相同的单刀单掷膜...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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