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本发明涉及基于低相干干涉的非接触式小径管内腔形貌检测装置及方法。该装置包括参考臂、耦合器、宽带光源、数据采集与处理模块、测量臂配合连接而成。参考臂由准直镜、平面反射镜、运动导轨组成；数据采集与处理模块由计算机、数据采集卡、光电探测器组成；测...
该专利属于中国科学院沈阳自动化研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院沈阳自动化研究所授权不得商用。

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