下载一种用于晶元的贴合方法的技术资料

文档序号:31234895

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于晶元的贴合方法,该晶元包括边缘部和本体部,该方法包括以下步骤;采用真空吸附方式将多个晶元依次转移至承载治具上;每个晶元在被转移至承载治具上均包括定位步骤和压紧步骤:所述定位步骤包括:对晶元的边缘部施加朝向所述承载治具方向...
该专利属于苏州辰轩光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州辰轩光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。