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本实用新型涉及集成电路板技术领域，提供一种集成电路板加工用的高效溅射设备，包括支撑板、工作台和转槽，所述支撑板的顶端设置有工作台，所述工作台的顶端安装有真空箱，所述真空箱内部的顶端安装有溅射发生器，所述工作台底端的两侧均设置有转杆，所述转槽...
该专利属于徐州市沂芯微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州市沂芯微电子有限公司授权不得商用。

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