下载玻璃板的制造装置的技术资料

文档序号:31096773

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本实用新型提供一种玻璃板的制造装置,其具备:处理装置,其使玻璃板通过在所述玻璃板的搬运路径上配置的处理空间的同时,利用供给至所述处理空间的处理气体对所述玻璃板实施蚀刻处理;以及清洗装置,其对经过了该处理装置的所述玻璃板进行清洗,其特征在于,...
该专利属于日本电气硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电气硝子株式会社授权不得商用。

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