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机台联动性的监控方法及监控系统技术方案
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下载机台联动性的监控方法及监控系统的技术资料
文档序号:31087200
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本发明的机台联动性的监控方法及监控系统中,机台联动性的监控方法包括:选择半导体有生产工艺时间限制的工艺路线中预定线路上的多个机台,并获取各个机台的可利用时间率;基于各个机台的可利用时间率,根据相关系数理论计算任意两个机台之间的相关系数;根据...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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