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一种光学元件离子束抛光加工装置制造方法及图纸
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下载一种光学元件离子束抛光加工装置的技术资料
文档序号:31025123
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本发明公开了一种光学元件离子束抛光加工装置,解决现有采用三轴运动或五轴运动平台抛光装置操作复杂、灵巧度差、制造昂贵的技术问题。本发明包括支撑底座,设于支撑底座上的真空室,设于真空室内的主机平台,设于主机平台上的支撑板,设于支撑板上用于夹取待...
该专利属于成都极致智造科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都极致智造科技有限公司授权不得商用。
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