下载一种光学元件离子束抛光加工装置的技术资料

文档序号:31025123

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种光学元件离子束抛光加工装置,解决现有采用三轴运动或五轴运动平台抛光装置操作复杂、灵巧度差、制造昂贵的技术问题。本发明包括支撑底座,设于支撑底座上的真空室,设于真空室内的主机平台,设于主机平台上的支撑板,设于支撑板上用于夹取待...
该专利属于成都极致智造科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都极致智造科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。