下载动态随机存取存储器及其形成方法的技术资料

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一种动态随机存取存储器及其形成方法,包括:衬底,衬底具有第一面和第二面,衬底包括若干有源区,各有源区均包括沟道区和字线区;位于字线区内的字线栅结构;位于每个所述字线区内的第一隔离结构;位于每个所述沟道区内的第二隔离结构;位于沟道区第一面内的...
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