下载一种单室磁控溅射真空镀膜机的技术资料

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本实用新型属于镀膜机技术领域,具体涉及一种单室磁控溅射真空镀膜机,包括设备本体,所述设备本体内部开设有过渡仓和工作仓,所述过渡仓设置在工作仓的上方,所述过渡仓的内部设置有升降组件,并延伸至工作仓的内部,所述升降组件包括两个托板和四个固定杆,...
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