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一种平面三自由度精密微位移定位平台制造技术
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文档序号:30977911
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本实用新型公开了一种平面三自由度精密微位移定位平台,其特征在于:包括运动平台、柔性杠杆放大机构一、基座、压电陶瓷驱动器、预紧螺纹孔、预紧螺钉、定位孔;所述基座上设有定位孔;所述运动平台呈正三角形形状;所述柔性杠杆放大机构每两个为一组,对称放...
该专利属于长春工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春工业大学授权不得商用。
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